靶材等静压模具，平面靶材等静压模具，旋转靶材等静压胶套，溅射靶材等静压成型模具，ITO靶材等静压成型模具，冷等静压 通常是将粉末密封在软包套内，然后放到高压容器内的液体介质中，通过对液体施加压力使粉末体各向均匀受压，从而获得所需要的压坯。液体介质可以是油、水或甘油。包套材料为橡胶之类的弹塑性材料。金属粉末可直接装套或模压后装套。由于粉末在包套内各向均匀受压,所以可获得密度较均匀的压坯,因而烧结时不易变形和开裂。其缺点是压坯尺寸精度差，还要进行机械加工。冷等静压已广泛用于硬质合金、难熔金属及其他各种粉末材料的成形。

靶材制造的过程中，需要经历粉末冶炼、粉末屁合、压制成型、气氛烧结、塑性加工、热处理、超声探伤、机械加工、水切割、机械加工、金属化、绑定、超声测试、超声清冼、栓验出货，共计15道工序。

l 粉末冶炼：对原籵粉末进行前期的气氛烧结，对原籵粉末中气体含量进行控制。

l 粉末混合：靶材有着独特的配方，需精确的控制各组分的含量，并严格限制杂质含量，在粉末冶全的过程中，需要将各元素充分混合均匀，粒度分布均匀， 防止污染并要通过特殊工艺手段制备成混合型复粉。

l 压制成型：采用粉末冶金工艺制备的靶材需要对粉体料进行预压，使之成为中等密度生坯，其密度的均匀性和内部的缺陷影响着后期高温烧结的成品率。

l 气氛烧结：预压成型的生坯需要再经过一次或多次的高温烧结，根据不同材籵选择不同的烧结温度曲线，并选择不同的烧结环境，如烧结气氛、烧结压力等，从而制备成高密度的靶坯。

l 塑性加工：金属坯锭需经过大幅度的塑性变形，以获得足够的长宽厚度尺寸，并使得内部晶粒进行足够的拉伸变形，从而在内部产生足够多的位错。

l 热处理：金属坯锭在经过大幅度的塑性变形后，根据不同的材料的特性选择热处理工艺，从而使金属材料发生重结晶去除内应力。

l 超声探伤：靶坯加工完后需要采用波进行检查材料内部是否有缺陷，靶坯与背板绑定完成后，需要采用水浸式超声波扫描仪进行粘结层的检测，看粘结面积是否达标。

l 机械加工：靶坯需要进行精密的机械成型加工，用于与靶坯复合使用的背板，由于承担与镀膜设备精确配合、承受高压水冷等作用，需要具备极高的尺寸精度与机械精度，加工难度较高，尤其是带内循环水路的背板，由于材质的特殊性，水路的密闭焊接非常困难，需要用到特种焊接工艺。

联系江苏海得实

电话 15905285887 颜先生

邮箱 cip@highindustryco.com

微信/QQ: 159 0528 5887

等静压模具  等静压胶套 粉体等静成型模具 聚氨酯包胶 CIP模具 CIP BAGS ISO BAGS 冷等静压聚氨酯包套